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質量流量控制器工作原理和結構
- 2019-06-17-

質量流量控制器工作原理:

質量流量計采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度和壓力補償),將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量測量電壓與設定電壓進行比較,再將差值信號放大后去控制調節閥,通過閉環控制來控制通過的流量,并使之與設定的流量相等,分流器決定主通道的流量,圖為MFC和流量顯示儀連接后的工作原理圖:

                          
多路流量控制器,控制器輸出的流量檢測到的電壓與流過通道的氣體質量成正比,滿量程檢測輸出電壓為5VDC,氣體質量流量控制器的檢測范圍為2~100%滿刻度(量程比為50:1),流量分辨率為0.1%滿刻度。 
注意:氣體質量流量控制器的“閥控"線置于“清洗"位時也可以當成氣體質量流量計使用,這時,流量檢測輸出電壓的輸出值可能達到10VDC以上。需要注意的是,一旦輸出電壓超過5VDC,流量檢測電壓和實際通過的流量不成線性對應關系。清洗時,流量顯示是不準確的,而且還可能出現流量增大、顯示減小的現象,但這些不會損壞質量流量控制器。 

 

質量流量計和質量流量控制器結構: 

                                

質量流量計含流量傳感器、分流器通道和流量放大、線性化及溫度補償電路組成。增加電磁閥和PID控制電路就構成了流量控制器。 

產品特點:

·產品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現自動調節、控制閥門

·微流量感熱式傳感器采用大規模集成電路生產技術和材料加工技術,使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升

·微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實現微小流量測量的數字化

·單個芯片的卓越流量特性的微處理技術,使流量計的量程范圍大大提高

·機電一體化優化設計,智能化的數據處理技術,使流量計具有更好的重復性,實現了計量的準確、可靠

·結構的優化,流量計的壓力損失達到*小化

·采用國際*新的傳感技術,使流量計工作更穩定、可靠

·開創零點自校功能,測量更準確

·多種氣體實際標定,全量程補償

·快速響應、數據自動存儲,配合上位機可實現網絡集中管理

·規格齊全,量程范圍寬,可根據用戶要求單獨標定

·精度等級高,滿足用戶高精度測量要求

·獨有的流量計報警功能,使監控更可靠

·操作、設置界面友好、簡便,可根據需要自行設定相關參數

·運用行業多,是科研院所、分析儀表行業、半導體行業、光伏行業、玻璃鍍膜、石油化工行業微小氣體流量控制產品升級換代的優選

技術參數:

·測量介質:各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)

·測量管徑:DN3,4,6,8,10

·流量范圍:30,60,80,100,300,600,800,1000sccm;10,20,30,50,80,100SLPM             

·流量測量準確度:±1.5%FS;±2.5%FS

·工作溫度范圍:-25℃-55℃

·工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa

·供電電源:24VDC±10%

·輸出信號:4-20mA,RS485通訊

·環境溫度:-25℃-55℃

·顯示位數:瞬時流量為三位,累積流量10位

 

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