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DSN系列氣體質量流量計使用時注意事項
- 2019-12-09-

注意事項

1. 儀表盒內部電器元件在出廠前均以調整好,用戶不得隨意自行調整。 

2 .使用氣體必須凈化,切忌粉塵、液體和油污。必要時,須在氣路中加裝過濾器等。

如果流量控制器出口接有液體源瓶,應在流量控制器出口安裝單向閥,防止液體

回流損壞流量控制器。 

3. 使用腐蝕性氣體和有機溶劑氣體問題 

控制器通道采用的材料為:SUS316L 不銹鋼, 聚四氟乙烯,氟橡膠等耐蝕材料。

在用戶系統無水汽、低泄漏、勤清洗、使用得當的條件下,可以用于控制一般

的腐蝕性氣體。使用強腐蝕性氣體和有機溶劑氣體時,應在定貨時聲明。使用

特殊腐蝕性氣體,所有密封材料都要作相應改變。 

4 .安裝位置問題 

本控制器安裝時最好保持安裝面水平,但對位置并不特別敏感,可以任意位置

安裝,非水平位安裝時若發現零點偏移,可調整零點后再工作。如果用戶訂貨

時注明安裝位置,我廠也可根據用戶的安裝位置進行標定后出廠。 

5 .注意工作壓差 

要特別注意工作介質的氣壓,應注意使控制器進出氣口兩端的工作壓差保持在

指標范圍之內。工作壓差不在規定的范圍內,流量將無法關閉或調小。在使用

大流量的質量流量控制器時,要注意適當加粗管道和減小氣源內阻,若工作壓

差小于要求值,有可能流量達不到滿量程值。 

控制器電磁調節閥并不能當做氣路截止閥使用,一般情況下用戶應在控制器進

氣口前安裝電磁(手動)截止閥。(有必要時在控制器前后都應加裝) 

6. 閥控操作注意: 

在閥控操作為“清洗”后不能直接轉為“閥控”狀態,應先切換至“關閉”狀

態。 

 

7 .標定和不同氣體的換算 

① 本控制器出廠用氮氣(N2)標定

質量流量的單位規定 

SCCM (標準毫升/分);SLM

(標準升/分) 

CCM(毫升/分); LM

(升/分) 

標定狀態規定 

溫度 273.15K0℃;氣壓

101325Pa(760mmHg) 

溫度 25℃;      氣壓

101325pa 

F.S(Full Scale) 滿量程值 

 ② 用戶使用其它氣體時,可以通過氣體質量流量轉換系數進行換算,將質量控制

器顯示出的流量讀數,與某使用氣體的轉換系數相乘,即得該被測氣體在標準狀態下

的質量流量。如果用戶使用混合氣體,可以通過附錄介紹的方法,計算出混合氣體的

轉換系數。 

③ 氣體轉換,通常氣體的切換不需要利用氣體轉換系數,只需要在設定畫面,如

下圖: 

 利用 , 將光標移至,,選擇當前介質后。(裝置已內置

60 種常用氣體)將光標移至, 確定退出即可。 

此時,裝置將自動完成。顯示的瞬時流量為當前選擇的氣體介質的實際流量。不需要

人工利用氣體轉換系數轉換。 

8 .出廠初始的模式為:一般工作模式 ,里面的分段參數里沒有修改和查看的權限!

只有在軟件端把 MFC 或 DSN2000B 設為分段模式,那么在鍵盤上才能設定和查

看分段參數。 

9. 時間的累積精度到分鐘 [時] [分],如果要精確到 秒 (S) 上的時間累積功能,

請運用分段里的多段組合功能,分段中的每段最高為 99 分鐘 59S,可以組合幾

段,設定分鐘和秒,設定同樣流量,后選擇分段關閉實現。 

10. 流量的累積小數解決  

方法一: 

比如:量程為 5.000SCCM,需要累積 3.230SCCM 流量值 

可以使用小數功能:輸入 3.230SCCM 的值 

方法二:相對處理 

因為累積值響應整數相對小數較為準確,把累積流量值化為整數 323,把量程

也放大 100 倍,相應調節為 500.0 就可以實現,但是這個比例處理是相對的,

但你如果在 DSN2000B 介面讀取每分鐘的流量值還要/100 來還原真實的流量值,

在流量設定值上,也要考慮相對的放大值來設定。 

11. 復位 

此功能請參照“6.11 時間組態界面”(P20) 

是用“時間組態界面”進行復位。復位后,組態自動恢復到原始狀態??蛻粜?/p>

要重新進入組態,照實際進行重新設置。 

 


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