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氣體質量流量計MFM和氣體質量流量控制器MFC小知識
- 2019-10-08-

1、什么是氣體質量流量計?

質量流量計,即Mass Flow Meter(縮寫為MFM), 是一種精確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償。

2、什么是氣體質量流量控制器?

質量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。

3、氣體質量流量計/質量流量控制器的主要優點是什么?

(1)流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準。

對于多數流量測控系統而言,很難避免系統的壓力波動及環境和介質的溫度變化。 對于普通的流量計,壓力及溫度的波動將導致較大的誤差;對于質量流量計/質量流量控制器,則一般可以忽略不計。

(2)測量控制的自動化

質量流量計/質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現對流量的數字顯示﹑累積流量自動計量﹑數據自動記錄﹑計算機管理等。對質量流量控制器而言,還可以實現流量的自動控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~ 氣體質量流量計MFM和氣體質量流量控制器MFC小知識_文庫下載https://www.wenkuxiazai.com/doc/6ccb753f0912a216147929b5.html 20mA, 數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進行自動控制。

(3)精確地定量控制

流量質量流量控制器可精確地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。

(4)適用范圍寬

有很寬的工作壓力范圍,產品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,產品最小流量范圍可達0~5 sccm,最大流量范圍可達0~1500 slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% (量程比為-- 50:1), 因此在很多領域得到廣泛應用。

4、質量流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?

質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程,在工作的過程當中,控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降,即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa,若壓差低于最低值(0.1 MPa),有可能控制達不到滿量程值;若高于最高值(0.3MPa),有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時,無論用戶工作的反應室是真空還是高壓,應做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內,并且要求氣壓要相對穩定。

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