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真空鍍膜行業中.氬氣的流量大小具體如何控制?
- 2019-10-26-

推薦使用熱式氣體質量流量控制器(MFC)

1.熱式氣體質量流量控制器(MFC),里面有個溫度傳感器和速度傳感器,流量大小通過高性能比例電磁閥,通過0-5V電壓調節閥芯開度大小或頻率來精確控制介質的流量大小

2.熱氣氣體質量流量控制器,AE流量計,可控量程2SCCM-200SLM,流量大小,客戶只要是在這個范圍的流量需求,都能為您選型,通過真空鍍膜行業的一些客戶了解到 ,他們一般使用的都是微小流量的MFC,集中在100SCCM/MIN   500SCCM/MIN  1000SCCM/MIN

3.進口壓力:最大1Mpa   正常工作壓力:0.5Mpa  MFC不受氣體的溫度和壓力影響它的精度和重復性精度,響應時間快1秒以內達到設定值

4.一般MFC都是以氮氣標定的,如客戶需要的是測量Ar流量,出廠時,廠家就按氬氣標定好,也可提供氬氣和氮氣之間換算的比列系數,你只要乘以這個系數就可以,進氣口壓力大小都是一樣的 

可咨詢一些真空鍍膜行業相關技術員。例如東莞德欣電子科技有限公司。

廣東省真空度膜行業是比較興旺的。


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